“七十二小时。”

“暗室环境温度波动范围？”

吴建华顿了一下，转头冲老周喊：“温度记录仪拿来！”

老周扯下纸带念数据。

“最高二十三点八度，最低二十一点六度。”

“波动正负一度左右。”

吴建华对着话筒重复了一遍。

“光源用了多久没换？”

“这批灯管……”吴建华想了想，“装上去大概四百个小时。”

“掩模版的材质？”

“钠钙玻璃。”

话筒那头没声了。

吴建华握着听筒，手心出了汗。

电话线里传来极轻微的翻页声。

顾昭昭在翻她的笔记本。

“吴所长，三个问题。”

吴建华猛地挺直腰板。

“第一，你的暗室温控做到正负一度，对接触式光刻来说不够。”

吴建华捏紧了话筒。

“零点五微米的变形，叠加导轨的机械漂移，你的套刻误差直接翻倍。”

“后段的废片，至少有一半是这个原因。”

“第二，光源衰减。”

“四百小时的紫外灯管，输出强度至少下降了百分之十五。”

吴建华把听筒换到左手，右手摸起铅笔快速记录。

“解决办法——去找一台高精度的恒温机组，把暗室温控精度压到正负零点三度以内。”

“灯管立刻换新。”

“每做完五十片，停机重新校准一次套刻对准标记。”

“不要贪快。”

吴建华记完最后一个字，笔尖在纸上戳出一个黑点。

“顾总工，明白了。”

“第三。”

“还有？”

“你三天没睡了。”

电话这头只剩呼吸声。

“人的手在连续工作七十二小时之后，精细操作的稳定性会下降百分之四十。”

“你现在上手操作，只会增加废品率。”

吴建华一时语塞。

“去睡四个小时，醒了再干。”

“我——”

“这是技术建议，不是客气话。”

“你的手，比光刻机的导轨更不可替代。”

咔嗒。

电话挂断。

吴建华举着听筒站在原地。

老周在旁边探头探脑。

“老吴，顾总工怎么说？”

吴建华慢慢把听筒放回座机。

“她说，让我去睡觉。”

“啊？”

“她还说，我的手比光刻机值钱。”

老周没憋住，扑哧笑出声，又赶紧捂住嘴。

吴建华瞪了他一眼，扯下记录纸。

“笑个屁！去，给我找高精度的恒温机组。”