华科院半导体研究所。
暗室亮着红色安全灯。
光影把所有东西都染成了血色。
吴建华站在光刻机旁。
两眼布满红血丝。
下巴冒出一片灰白胡茬。
他在这间屋子里熬了三天三夜。
第一批八百颗T/R组件芯片的流片结果,全摊在工作台上。
老周蹲在角落分拣。
合格的放左边,废的放右边。
左边的堆缓慢长高。
右边的堆长得更快。
“老吴,数出来了。”
老周直起腰,膝盖咔吧响了一声。
“合格六百零二颗。”
吴建华在脑子里盘算。
百分之七十五。
比顾总工预估的百分之八十,低了五个百分点。
“前三百颗没问题,良率在百分之八十三左右。”
老周翻开记录本。
“从第三百五十颗开始往下掉,越到后面废得越多。”
“最后一百颗,废了将近四成。”
吴建华沉着脸,走到光刻机前蹲下。
这台国产接触式光刻机是全所的宝贝。
机身的漆皮磕掉了好几块,露出底下的灰色铸铁。
他伸手摸向掩模版固定架的导轨。
导轨边缘有极细微的磨损。
“老周,你过来看。”
老周凑上前。
“导轨磨损了。”
“套刻对准每跑一批就会漂一点。”
“漂到后面,三微米的线宽容限根本兜不住。”
老周张了张嘴:“那……换导轨?”
“换个屁。”吴建华站起身,一巴掌拍在机器外壳上。
“全国就这么一台能干这活的光刻机,备件找谁去要?找老天爷?”
暗室里安静下来。
红色灯光拉长了吴建华的影子。
“打电话。”他说。
“打给谁?”
“长空基地顾总工!”
……
吴建华大步走出去,抓起桌上的红色保密专线电话,要通了长空基地。
长空基地。
顾昭昭的办公室。
桌上的红色保密专线电话响了三声。
顾昭昭放下笔,拿起听筒。
“顾总工,我吴建华。”
“说。”
“第一批八百颗流完了,良率百分之七十五,没达标。”
听筒那头沉默了一秒。
“前段和后段的良率分别多少?”
吴建华报了数。
“光刻机连续作业多长时间了?”