顾昭昭走到工作台旁,拿起铅笔和一张草稿纸。
“问题不在拉晶参数上,参数没毛病。”
她画了个坩埚截面示意图,三笔勾完。
“问题出在坩埚的热场分布,你们的加热器是单区控温,坩埚中心和边缘的温差,实际上比你们仪表读出来的大。”
吴建华盯着那个截面图:“大多少?”
“中心和边缘的实际温差在八到十二度之间。你们的仪表只能测到坩埚外壁温度,内部熔体边缘的真实温度,测不着。”
老周站在旁边,嘴巴张的老大,手里记录本忘了写。
“晶体生长过程中,边缘冷得比中心快,热应力集中,就产生微裂纹,晶体越大,效应越明显。”
顾昭昭在截面图上添了几个箭头,标出热流方向。
“两英寸的时候问题不大,尺寸小,温差效应弱。三英寸一上来,边缘应力就扛不住了。”
吴建华的脸沉下来了。
他干了几十年,热场梯度的重要性当然清楚。
可设备条件摆在那儿,一直默认单区控温够用。
“能不能改?”
吴建华没绕弯子。
“两个办法。”
顾昭昭竖起两根手指。
“第一个是换双区加热器,但你们现有的炉子改造起来至少两个月。”
“第二个是在坩埚外壁加一层导热均衡层。相当于给坩埚穿一件棉袄,把热量匀开。”
她在草稿纸上写下导热均衡层的具体尺寸参数和安装位置。
“第二种方案,三天就能改完。”
吴建华拿起那张草稿纸,看了三遍。
“老周。”
“在。”
“去找材料组的老赵,让他今天下午就备料。”
“是!”
老周抱着纸就往外跑。
吴建华搓了搓手,转向顾昭昭。
这回他脸上没有尴尬,也没有客套。
“顾总工,我搞了三十年半导体,坩埚热场这个问题困了我们组至少五年。五年,换了三茬人,谁都没吃透。你来了两趟,全给捅破了。”
顾昭昭没接话。
她从帆布包里掏出笔记本,翻到夹着标签的那一页。
“吴所长,衬底的事交给你继续跑。我今天来,还有另一件事。”
她走到实验室角落那块积了粉笔灰的大黑板前。
“T/R组件。”
吴建华愣了一下。
顾昭昭拿起粉笔,没打底稿,直接落笔。
第一根线条落在黑板左侧。
功率放大模块。
她画的不是原理框图,是实际的单片电路拓扑。
粉笔在黑板上刷刷地响。