半导体研究所。

顾昭昭到的时候，吴建华已经在实验室门口等着了。

跟上回不一样，这回老头儿没端着架子。

远远瞅见那个背帆布包的瘦削身影拐过楼角，直接迎上来，脚步比秘书还快。

“顾总工，第三炉昨天下午出炉了。”

吴建华边走边说，语速比平时快了一截。

他推开实验室的铁门，侧身让顾昭昭先进。

实验室里灯管亮得刺眼。

长条工作台上，十二片晶圆整整齐齐码在垫了绒布的铝托盘里。

吴建华的得意劲儿藏都藏不住。

三英寸的军品级砷化镓衬底。

搁三个月前，他做梦都不敢想能在自己手里拉出来。

顾昭昭没吭声。

她放下帆布包，从托盘里取出第一片晶圆，举到灯光底下。

转了半圈，搁下。

拿起第二片。

再搁下。

一片一片看过去，动作不快，但每一片停留的时间几乎一模一样。

吴建华站在旁边，心里头有点打鼓。

看到第九片的时候，顾昭昭停下了。

她把晶圆翻了个面，凑到灯管正底下，眯起眼。

然后搁下，拿起第十片。

同样的位置，同样翻面。

“显微镜。”

吴建华一愣，扭头冲旁边喊：“老周，把金相显微镜推过来！”

老周手脚麻利，三十秒不到，显微镜到位。

顾昭昭把第九片晶圆卡上载物台，调焦，低头看了十几秒。

换第十片。

又看了十几秒。

她直起身，退后一步。

“吴所长，你自己看，九号和十号，边缘区域，两点钟方向。”

吴建华三步并两步凑上去，低头贴上目镜。

五秒钟。

他的眉头拧成了疙瘩。

“微裂纹？”

“对。”

“宽度大约零点三微米，沿晶向延伸，长度不超过八十微米。”

吴建华直起腰，脸色有些挂不住。

他刚才明明检查过。

肉眼和常规检测都没查出毛病。

“这个裂纹在中心区域没有，只出现在边缘。也不是每片都有，十二片里我看了四片有类似痕迹。”