顾晴挠了挠头发，干笑了一声，赶紧打圆场。

“懂了懂了。刚才就是嘴碎，话顺着嘴边秃噜出来了。”

顾昭昭把那份年报重新推回她眼皮底下。

“你能懂，说明你比大部分人都聪明。好奇是人类的正常生理反应，但科研保密，从来不按血缘亲情来分配权限。”

顾晴被噎得翻了个白眼。

“你这话听着是真硬邦邦的，但我居然觉得该死的有道理！”

顾昭昭重新捏起铅笔，一秒切回学霸辅导模式。

“接着看你的参数表吧。这个没出公开范围，随便讲。”

顾晴那点小尴尬瞬间被这句话给扫空了，立马坐得溜直。

“讲讲讲！今天高低得把你脑子里的墨水多榨点出来。”

顾昭昭在白纸上刷刷列出蒸镀功率、沉积速率、基板温度三列数据，又补了个膜厚均匀性。

“你这组数据最大的坑，就是把功率和生长速率当成简单的线性关系来算了。”

顾晴眉头拧成了一个疙瘩。

“不是功率给得越大，长得就越快吗？”

“在低功率区你可以这么凑合算，但越过一定阈值后，基板表面的迁移过程就成了拖后腿的限制因素。这时候你功率还不管不顾地往上猛加，速率不但不会按比例涨，反而会让表面粗糙度直接飙升。”

顾昭昭拿过木尺压住纸边，行云流水般画出一条精准的对数拟合曲线。

“看这儿。八十瓦到一百二十瓦之间，长势确实喜人。但一过一百二十瓦，曲线就开始平了。到了一百五十瓦附近，膜层质量已经明显往下掉了。你们现在光顾着追求出膜快，把工艺窗口全推过头了。”

顾晴盯着那条堪称完美的曲线，嘴巴慢慢张成了“O”型。

“所以，最佳功率压根就不是最大功率，而是在一百一到一百二之间？”

“对。再配上一百八十五到一百九十五度的基板温度，真空度稳住，膜厚均匀性绝对能有个质的飞跃。”

顾昭昭在旁边利索地写下两行字。

【推荐工艺窗口：P=110—120W，T=185—195℃，需强制加入温控反馈。】

顾晴盯着那张纸，眼珠子都不舍得错一下。

“乖乖……我开学要是把这张纸拍到梁院长桌上，他能激动得当场把实验室那台破温控仪给砸了重焊！”

“别说是我定的。”顾昭昭严谨地提醒她，“你就说是根据现有的残缺数据，做出的拟合推断。以梁院长的水平，他看得懂这里的逻辑。”