第290章 你们的硼,不干净

半导体研究所,晶体生长实验室。

“顾总工,导热均衡层装上之后,连跑了几炉。”

吴建华把数据纸往她面前一递,声音里压着股劲儿。

“边缘微裂纹消失了,晶圆全过了外观检查。”

顾昭昭接过数据纸,站在走廊里就翻。

吴建华在旁边搓着手,跟等判卷的学生一个样。

翻到第二页,目光在一列数字上停了两秒。

翻到第三页,手指点在“位错密度”那一栏。

“平均位错密度多少?”

“三乘以十的三次方!”

吴建华脱口而出。

“比之前又降了半个数量级!”

顾昭昭没接话。

翻到最后一页——霍尔效应测试结果。

载流子迁移率。

数字列在纸上,黑白分明。

她盯了三秒,合上数据纸。

“吴所长,迁移率不达标。”

吴建华的笑容凝在脸上。

“你自己看。”

顾昭昭把数据纸翻回最后一页,指尖点在第四列。

“平均载流子迁移率,四千二百。军品级T/R组件的衬底要求,不低于五千。”

吴建华一把抢过数据纸,眼镜差点从鼻梁上滑下来。

“差了八百……”

“差了百分之十六。”

顾昭昭纠正他。

“位错密度达标了,但迁移率上不去,说明问题不在晶体结构。”

她推开实验室的铁门,直接走到液封直拉炉旁边。

“废片在哪?”

老周端过铝托盘。

三片切好的废片搁在上面。

顾昭昭拿起一片,没去用显微镜,直接对着头顶的白炽灯管调整角度。

晶片表面泛起金属光泽。

“不是炉子的问题。”

她把晶片搁回托盘。

“是材料。”

吴建华站在旁边,温彻和两个研究员也凑了过来。

温彻背着军用挎包,掏出笔记本,笔帽一拧。

“液封直拉法,除了砷和镓,还有什么?”

顾昭昭抬头问。

吴建华反应过来了:“三氧化二硼液封剂?”

“你们的硼,哪儿来的?”

“京市化学试剂厂,分析纯级别,纯度标称99.98%。”

顾昭昭蹲下去,看了一眼炉体侧面的密封段。站起来。

“不够。”

吴建华皱眉。

“99.98%还不够?这已经是国内最高等级的分析纯了——”

“分析纯的标称是总体金属杂质含量。”

顾昭昭打断他,走到工作台前,拿起一支粉笔,在旁边的小黑板上写了三个字。

“硅、碳、铁。”

“这三种痕量杂质只要有任何一个超标,在上千度高温下就会扩散进砷化镓熔体。”

她又在黑板上画了个坩埚截面简图,三笔勾完。