半导体研究所,晶体生长实验室。
“顾总工,导热均衡层装上之后,连跑了几炉。”
吴建华把数据纸往她面前一递,声音里压着股劲儿。
“边缘微裂纹消失了,晶圆全过了外观检查。”
顾昭昭接过数据纸,站在走廊里就翻。
吴建华在旁边搓着手,跟等判卷的学生一个样。
翻到第二页,目光在一列数字上停了两秒。
翻到第三页,手指点在“位错密度”那一栏。
“平均位错密度多少?”
“三乘以十的三次方!”
吴建华脱口而出。
“比之前又降了半个数量级!”
顾昭昭没接话。
翻到最后一页——霍尔效应测试结果。
载流子迁移率。
数字列在纸上,黑白分明。
她盯了三秒,合上数据纸。
“吴所长,迁移率不达标。”
吴建华的笑容凝在脸上。
“你自己看。”
顾昭昭把数据纸翻回最后一页,指尖点在第四列。
“平均载流子迁移率,四千二百。军品级T/R组件的衬底要求,不低于五千。”
吴建华一把抢过数据纸,眼镜差点从鼻梁上滑下来。
“差了八百……”
“差了百分之十六。”
顾昭昭纠正他。
“位错密度达标了,但迁移率上不去,说明问题不在晶体结构。”
她推开实验室的铁门,直接走到液封直拉炉旁边。
“废片在哪?”
老周端过铝托盘。
三片切好的废片搁在上面。
顾昭昭拿起一片,没去用显微镜,直接对着头顶的白炽灯管调整角度。
晶片表面泛起金属光泽。
“不是炉子的问题。”
她把晶片搁回托盘。
“是材料。”
吴建华站在旁边,温彻和两个研究员也凑了过来。
温彻背着军用挎包,掏出笔记本,笔帽一拧。
“液封直拉法,除了砷和镓,还有什么?”
顾昭昭抬头问。
吴建华反应过来了:“三氧化二硼液封剂?”
“你们的硼,哪儿来的?”
“京市化学试剂厂,分析纯级别,纯度标称99.98%。”
顾昭昭蹲下去,看了一眼炉体侧面的密封段。站起来。
“不够。”
吴建华皱眉。
“99.98%还不够?这已经是国内最高等级的分析纯了——”
“分析纯的标称是总体金属杂质含量。”
顾昭昭打断他,走到工作台前,拿起一支粉笔,在旁边的小黑板上写了三个字。
“硅、碳、铁。”
“这三种痕量杂质只要有任何一个超标,在上千度高温下就会扩散进砷化镓熔体。”
她又在黑板上画了个坩埚截面简图,三笔勾完。